在线阳光控制膜镀膜系统用硅烷汇流排

摘要

本实用新型提供一种在线阳光控制膜镀膜系统用硅烷汇流排，该硅烷汇流排包括作为高压管路的硅烷气供气通道、作为低压管路的配气架连接管路、用于连通高压管路与低压管路的减压管路、抽真空装置以及真空切换开关组，其中，硅烷气供气通道和减压管路分别与抽真空装置连通，各连接管路上分别设有真空切换开关作为真空切换开关组，用于切换硅烷气供气通道、减压管路与抽真空装置的通断。本实用新型采用两个硅烷气供气通道和真空切换开关组的组合方案，实现了稳定不间断的供气；并采用引流抽真空机构配合高压氮气引流使硅烷汇流排的管路中产生负压，采用高压氮气充分清洗管道，降低管道含氧量，减少硅烷粉尘的产生，以降低仪表维护成本。