公开/公告号CN209922369U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-01-10
原文格式PDF
申请/专利权人 达格测试设备(苏州)有限公司;
申请/专利号CN201920284034.6
发明设计人 吕永忠;
申请日2019-03-06
分类号
代理机构宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙);
代理人袁丽花
地址 215151 江苏省苏州市高新区建林路666号(出口加工区配套工业园7栋)
入库时间 2022-08-22 12:08:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-10
授权
授权
机译: 微波共振等离子体发生器,装有上述发生器的等离子体处理系统以及等离子体处理系统的微波共振等离子体的产生方法
机译: 微波等离子体喷嘴阵列的配置方法,微波等离子体喷嘴阵列单元和微波等离子体系统
机译: 微波等离子体喷嘴阵列单元,喷嘴阵列的配置方法和微波等离子体系统,用于提供均匀可扩展的微波等离子体产生