弹性模量梯度变化研抛盘的材料去除率测量装置

摘要

本实用新型公开了一种弹性模量梯度变化研抛盘的材料去除率测量装置，包括X轴运动模组、Y轴运动模组、负压配模调压装置、弹性模量梯度变化研抛盘、抛光机、工作台机架、压力调节反馈装置和调平校准装置实验平台，本实用新型在传统的平面工整抛光中对被测硬脆材料工件添加了负压配模，可有效的减弱“边缘效应”，引入梯度功能研抛盘理念，实现工件接触表面的接触应力梯度分布，可更大程度的实现工件表面的均匀去除，填补了基于梯度功能研磨盘的硬脆材料均匀去除新型超精密加工技术尚无相关测量试验装置的空白，并提供了一套测试方法，该装置对后续大规模生产和提高加工质量有重要的测试意义。