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曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法

摘要

曲率可变反射镜具有以曲率可变的方式构成并且在反射镜反射面侧对激光进行反射的反射镜母材,反射镜母材使用弹簧材料铜合金而形成,弹簧材料铜合金使用磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni(镍)、Sn(锡)、Si(硅)、Mg(镁)、Zn(锌)、Mn(锰)、Pb(铅)、Fe(铁)以及Al(铝)中的至少1种而成的合金中的任意一种而构成。

著录项

  • 公开/公告号CN104204870B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-06-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱电机株式会社;

    申请/专利号CN201280071918.4

  • 发明设计人 西尾彰伦;石塚智彦;

    申请日2012-03-29

  • 分类号

  • 代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人何立波

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:42:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-29

    授权

    授权

  • 2015-01-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/10 申请日:20120329

    实质审查的生效

  • 2014-12-10

    公开

    公开

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