一种白光干涉式激光位移计

摘要

本实用新型公开了一种白光干涉式激光位移计，包括激光位移计外壳体，激光位移计外壳体左侧下方通过螺钉固定有防护罩，防护罩一侧固定有传感镜头，传感镜头一侧固定有偏振保持光纤，偏振保持光纤一侧固定有激光器，激光位移计外壳体左侧中部通过安装槽固定嵌入有滤光镜，滤光镜一侧固定有白光干涉镜组，白光干涉镜组一侧固定有分光器，分光器一侧固定有CCD器件，CCD器件一侧固定有处理器，安装板一侧通过螺钉固定有定位机构，该白光干涉式激光位移计，非接触式测量，测量高度可调节，白光干涉分辨率高、精度高。