蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备

摘要

本实用新型提供蒸发源加热电导入装置及真空蒸发镀膜设备，该蒸发源加热电导入装置包括：加热电极，所述加热电极的一端部用于与外部电源电连接；导电调节杆，所述导电调节杆能够设于真空蒸发镀膜设备的真空腔体内，该导电调节杆的一端部与所述加热电极的另一端部电连接；和导电接头，所述导电调节杆的另一端部与所述导电接头电连接，所述导电接头用于与蒸发源的加热装置的电源输入端电连接。这样，可以使得蒸发源加热电导入装置具备较好的导电性能。