微压力传感器校准系统

摘要

本实用新型公开了半导体设备通讯技术领域的微压力传感器校准系统，包括校准箱体、储气罐、校准系统、温补系统和PC机，所述校准箱体上分别设有多个样品通道和多个测试通道，校准箱体内分别设有与每个样品通道和每个测试通道对应的样品压力传感器和微压力传感器，所述调压阀通过压力控制器与PC机的输入端通信连接，校准箱体内还安装有与PC机输入端相通信连接的压力采集器，可多个测试点同时进行，提高对微压力传感器的校准测试效率，通过温度补偿控制器对输出结果进行修正，达到一定范围内消除温度变化对元器件输出信号影响，对准效率快，设计新颖，灵敏度更高，分辨率更高。