一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置

摘要

一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，尾气通过导流罩向上流动进入过滤滤芯中进行过滤，导流罩呈圆锥形结构，因此气流上升时由于减速，从而容易使灰尘向下掉落，增加了螺旋换热管，因此冷却水泵将冷却水通过冷却水入水管输入螺旋换热管中将过滤滤芯和导流罩处冷却降温，增加尾气中灰的脱落几率，保证过滤滤芯不容易被堵塞，从而延长维护周期，冷却水吸热后通过冷去睡出水管流回冷却水泵中实现循环。经过过滤滤芯过滤后的气体通过尾气出气管进入原有的金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器中实现二次过滤，通过两次过滤可以使98%的碳粉被收集吸收，以至于进入主抽泵的碳粉非常少，大大延长主抽泵的维护周期。