用于颗粒物粒径测量的激光测径系统和质谱仪

摘要

本实用新型涉及一种用于颗粒物粒径测量的激光测径系统，该激光测径系统包括激光器、分光装置、真空反射装置、基板、第一固定板以及第二固定板；激光器设在基板上，且激光器能够相对于基板移动；分光装置设在第一固定板上，用于将激光器发出的一束激光分成两束平行的激光束；真空反射装置设在第二固定板上，用于将分光装置分成的两束平行的激光束反射入质谱仪的真空腔。该激光测径系统利用反射的原理，将一束激光均匀的分成两束，避免了两个激光器能量衰减幅度不同，影响测径系统的准确性和灵敏度的问题。本实用新型涉及的质谱仪中的激光测径系统只需一个激光器，降低了激光测径系统的占用空间，使仪器结构更紧凑，同时降低了成本。