一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置

摘要

本实用新型公开了一种直写光刻机图形发生器的FPGA填充装置，属于光刻机技术领域，其技术方案要点是，包括FPGA可编程器件和通信引脚，所述FPGA可编程器件为矩形板，所述FPGA可编程器件的外表面周侧设有所述通信引脚，所述通信引脚与所述FPGA可编程器件固定连接；在FPGA可编程器件的上表面设有编程单元安装板，编程单元安装板与FPGA可编程器件固定连接，编程单元安装板数量为多个，且编程单元安装板与FPGA可编程器件之间倾斜设置，通过在FPGA可编程器件的上表面设置若干倾斜设置的编程单元安装板，将安装区域立体化，在单位面积内，可以写入编程单元的面积更大，因此可在同样面积内，同样精度下，写入更多的编程单元。