一种利用回收的氧化锌铝残靶制备氧化锌铝残靶粉末的方法及该粉末的应用

摘要

本发明提供一种利用回收的氧化锌铝残靶制备氧化锌铝残靶粉末的方法，包括以下步骤：（1）将氧化锌铝残靶用清水洗净、烘干；（2）将烘干后的氧化锌铝残靶，放入刚玉质的球磨机中研磨，研磨后采用180~220目标准筛过筛，得到氧化锌铝残靶粉末。本发明解决了现有技术中氧化锌铝残靶直接丢弃造成的资源浪费以及环境污染问题，并且，所制得的氧化锌铝残靶粉末可作为氧化锌铝靶材的原材料重新制备新的氧化锌铝靶材。