超净层流系统及具有其的无尘室、手套箱和设备

摘要

一种超净层流系统及具有其的无尘室、手套箱和设备，该系统包括具有排气口的超净腔室；布置于超净腔室上方并具有进气口的密封的气体混合室，其中气体混合室与超净腔室由超净腔室的顶板隔离；一个或多个洁净过滤器，其布置于超净腔室的顶板中的开口处，并使得超净腔室与气体混合室流体连通；布置于气体混合室中的第一和第二动力风机，其中第一和第二动力风机设置成产生动力以驱动气流通过洁净过滤器流入超净腔室；均流膜，其在超净腔室中布置于超净腔室的顶板下方，并设置成使得流入超净腔室的气流形成为层流，从而在超净腔室中产生均匀的单向循环气流。本实用新型解决了现有超净间技术存在的气流死角、振动、噪音、温控精细度不足等多重问题。