一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置

摘要

本实用新型涉及微电子元件表面处理技术领域,具体公开了一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置，包括座板、第一干燥机构和第二干燥机构，第一干燥机构和第二干燥机构固定安装在座板的顶端；所述第一干燥机构包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和第二支撑板均有两个，两个第一支撑板和两个第二支撑板之间均转动安装有第一滚筒，两个第一滚筒之间套设有第一传送带，所述座板的顶端还固定安装有四个倒L字形的第一支撑杆和四个倒L字形的第二支撑杆，第二支撑杆的水平部位的端头共同焊接有U字形的安装架。本实用新型两种干燥机构一起配合干燥，比传统的高温急速吹风干燥安全性更高，保证后续加工可靠方便。