一种SPM槽及防止SPM槽槽底破裂的结构

摘要

本实用新型公开了一种SPM槽及防止SPM槽槽底破裂的结构，包括接头组件和进液管，接头组件包括第一接头和第二接头，所述进液管与第一接头相连，第一接头固定在第二接头上，第二接头设置在SPM槽的固定板上，第二接头的下部设置有喷淋结构。本实用新型能够使从进液管中流出的去离子水均匀喷洒散落在槽体底部，使去离子水与浓硫酸均匀接触，有效解决了槽体局部受热不均匀，槽体容易破裂的问题，延长了SPM槽的使用寿命，消除了企业因石英槽破损导致的经济损失及可能的人员伤亡隐患。