应用于LOW-K开槽设备的三轴联动精密平台

摘要

本实用新型涉及一种应用于LOW‑K开槽设备的三轴联动精密平台，包括有限位底座，限位底座通过主连接板连接Y轴运动装置，Y轴运动装置通过副连接板连接X轴运动装置，X轴运动装置通过铝板底座安装有旋转θ轴运动装置。由此，采用大理石底座，吸震性能良好，对加工中的应力变形较小，保证了导轨安装的平面度要求。运转的定位精度高，误差在1UM内。可以实现X、Y、θ三轴的运转调节，满足多角度、多空间的加工需要。整体构造简单，易于装配与维护，能够与目前常见的各类加工平台相匹配使用。