公开/公告号JP4807040B2
专利类型
公开/公告日2011-11-02
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社ニコン;
申请/专利号JP20050318689
发明设计人 ダグラス・シー・ワトソン;ティン-チェン・テン;パイ-ヒュー・ヤン;マイク・ビナード;バウサン・ユァン;ウェン-ホウ・マ;アンドリュー・ジェイ・ヘイゼルトン;ダブリュ・トマス・ノヴァク;上田 稔夫;カーク・ロク;新井 洋一;
申请日2005-11-01
分类号H01L21/027;H01L21/68;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:20:24