一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构

摘要

本实用新型一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构，所述结构包含有盖置于托盘上方的上盖(1)，所述托盘和上盖(1)之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘(4)位于加热旋转腔内；所述托盘的底部设置有环形结构的旋涂内腔(3)，且上盖(1)的底部设置有环形结构的导流台阶(5)，且导流台阶(5)插置于旋涂内腔(3)中，所述上盖(1)的内壁为锥形结构，且上盖(1)的顶部盖壁上设置有排气孔(2)。本实用新型一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构，其能够对匀胶机内气流进行控制。