公开/公告号CN208977678U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-06-14
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市东佳利五金有限公司;
申请/专利号CN201821777007.4
申请日2018-10-31
分类号B25B11/02(20060101);B25B27/14(20060101);
代理机构11548 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙);
代理人李静
地址 518000 广东省深圳市龙华区福城街道福民社区东佳利工业园3号101
入库时间 2022-08-22 09:29:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-14
授权
授权
机译: 使用一种或多种处理液,可以移动和嵌套用于半导体晶圆或其他微电子,紧凑型风管系统的基板的工具
机译: 紧凑的风管系统,带有可移动和可嵌套的挡板,用于在用一种或多种处理液处理微电子工件的工具中使用
机译: 使用一种或多种加工液,可嵌套和移动用于微电子工件的工具,使风道系统紧凑