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一种极小发散角的垂直腔面发射激光器芯片及激光器

摘要

本申请实施例提供了一种极小发散角的垂直腔面发射激光器芯片及激光器,其中,该极小发散角的垂直腔面发射激光器芯片包括:衬底、依次形成于所述衬底上的N型层、发光层、P型层和P型电极层,形成于所述衬底背面的N型电极层;所述P型层包括依次形成于所述发光层上的多个反射层,多个所述反射层中的每个反射层均包括导电区域和绝缘区域,且多个反射层中的所述导电区域的面积自下至上逐渐增大,使得所述P型层形成截面呈倒梯形的导电区域;所述P型电极层包括与所述导电区域对应的出光孔;所述出光孔内设置有凸透镜。本申请实施例减小了垂直腔面发射激光器芯片中出射光线的发散角。

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  • 2019-05-21

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