一种简便有效可防止液体回流的底座

摘要

本实用新型提供一种简便有效可防止液体回流的底座，包括吸盘机构、底座、旋转机构和挡水机构，旋转机构包括旋转台和驱动单元，底座的中心位置设置有中心孔，挡水机构包括固定架、调整单元和挡水板块。在底座上安装一个挡水机构，将晶圆吸附在吸盘机构上，进而通过旋转机构驱动吸盘机构转动。因此，使得晶圆进行旋转清洗，若有清洗液回流至晶圆的背面，通过挡水机构会将导流至挡水板块上，继而通过固定架将清洗液引导至底座的外部，有效的避免清洗液回流至晶圆背面，保证晶圆的清洗效率，同时提高底座的使用寿命。