形成陶瓷线的方法、形成陶瓷线的系统、以及采用其的超导体线

摘要

本发明提供了陶瓷线的形成方法。在该方法中，将陶瓷前体膜沉积在线基材上。然后，通过加热，对其上沉积有陶瓷前体膜的线基材进行处理。为了通过加热以对线基材进行处理，控制线基材的温度和/或线基材的氧气分压，使得陶瓷前体膜处于液态并且由在线基材上的液态陶瓷前体膜形成外延陶瓷膜。