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透明导电层叠片、及其制造方法和采用透明导电层叠片的显示器件

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提供一种在热塑性聚合物薄膜构成的透明基片上，以In-Sn-O为主的晶体透明导电膜得透明导电层叠片。透明导电膜(ITO膜)晶体部分有特定的晶体结构，(222)晶面或(440)晶面X-射线衍射强度最大。且(440)晶面X-射线衍射强度与(222)晶面的X-射线衍射强度比[X_440/222]在0.2至2.5范围。层叠片有低的电阻率。可用于液晶显示、电致发光器件、触摸面板等的电极材料。控制溅射中薄膜制作的气氛；和薄膜制作后在特定条件下热处理，能制造透明导电层叠片。

著录项

公开/公告号CN1217344C

专利类型发明授权
公开/公告日2005-08-31

原文格式PDF
申请/专利权人帝人株式会社;
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申请/专利号CN00800674.1
发明设计人原宽;坪井诚治;
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申请日2000-02-23
分类号H01B5/14;B32B7/02;C23C14/08;C23C14/34;H01L31/04;
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人陈霁;叶恺东
地址日本大阪府大阪市
入库时间 2022-08-23 08:57:40

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-03-13

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01B 5/14 授权公告日:20050831 终止日期:20170223 申请日:20000223

专利权的终止
2005-08-31

授权

授权
2005-08-31

授权

授权
2001-07-11

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效
2001-07-11

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效
2001-07-04

公开

公开
2001-07-04

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