一种带圆弧倒角的多边形硅片

摘要

本实用新型公开的带圆弧倒角的多边形硅片，包括截面为准正2N边形的本体，其中N≥3且为整数，本体的各个角处均设置有圆弧倒角，各圆弧倒角位于与本体的对称中心同心的同一定位圆上，定位圆的直径D为150.5mm≤D≤228.5mm，本体平行相对的直边之间的对边距B为132mm≤B≤226.5mm。本实用新型的带圆弧倒角的多边形硅片为准正2N边形硅片，其采用便于测量的对边距及圆弧倒角定位圆直径作为产品设计参数，能够更好地控制和测量硅片的形状、尺寸；在准正2N边形硅片的各个角处均设置圆弧倒角，能够减少运输、加工过程中硅片的破损，提高产品良率；而且，准正2N边形的硅片，能够提高圆棒利用率、减少边皮料的产生。