公开/公告号CN208528719U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 江西超联光电科技有限公司;
申请/专利号CN201820153809.1
申请日2018-01-29
分类号
代理机构南昌赣专知识产权代理有限公司;
代理人文珊
地址 334000 江西省上饶市经济技术开发区旭日片区兴业大道
入库时间 2022-08-22 08:14:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-22
授权
授权
机译: 一种用于连续高精度研磨或磨削的设备。在工具夹紧装置的情况下研磨工具的研磨。
机译: 用于物体表面高精度加工的设备,特别是用于抛光和研磨半导体基材的设备
机译: 用于物体表面高精度加工的方法和设备,特别是用于抛光和研磨半导体衬底的方法