法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A61B5/107 授权公告日:20190129 终止日期:20190717 申请日:20170717
专利权的终止
2019-01-29
授权
授权
机译: 一种用于测量图案高度的装置和一种测量图案高度的方法,能够通过在试样表面上辐射电子束来测量图案的高度
机译: 电磁阀针的位移量测量装置,获取每个采样点位移传感器的输出信号,以确定传感器特性随时间变化的趋势
机译: 电磁阀针的位移量测量装置,获取每个采样点位移传感器的输出信号,以确定传感器特性随时间变化的趋势