声明
1 绪论
1.1 课题研究的背景
1.2 国内外研究现状
1.2.1 工业常用的非接触式测量方法
1.2.2 国内外发展现状
1.3 论文的研究内容和结构安排
2 自动化测量系统设计
2.1 自动化测量系统的需求分析
2.2 测量方式选择
2.2.1 定点测量
2.2.2 固定步长采样测量
2.2.3 扫描测量
2.2.4 测量方式对比
2.3 系统硬件构成及其工作方式
2.3.1 激光位移传感器
2.3.2 运动控制系统
2.3.3 载物平台
2.3.4 工业控制计算机
2.3.5 系统工作方式
2.4 系统误差分析
2.4.1 测量误差来源
2.4.2 激光位移传感器竖直方向倾角造成的误差分析
2.4.3 激光位移传感器运动方向与待测面夹角造成的误差分析
2.5 本章小结
3 自动化测量系统的数据处理方法研究
3.1 异常数据的剔除
3.2 数字滤波技术
3.2.1 平面数据的滤波处理
3.2.2 曲面数据的滤波处理
3.3 待测面数据的筛选方法
3.3.1 根据测量值的范围进行筛选
3.3.2 根据差分序列进行筛选
3.3.3 高度差结果的筛选方法
3.4 曲面数据的拟合方法
3.5 本章小结
4 自动化测量系统的实验研究
4.1 激光位移传感器的测距标定
4.2 测量不确定度的基本评定方法
4.2.1 测量不确定度的A类评定方法
4.2.2 测量不确定度的B类评定方法
4.2.3 合成标准不确定度
4.2.4 扩展不确定度
4.3 对于标准件的测量实验
4.3.1 对于标准量块组成的平面高度差测量
4.3.2 圆柱杆顶点到标准量块平面的高度差测量
4.4 谐振腔自动化测量实验
4.4.1 扫描速率的选择
4.4.2 位置坐标不变化的重复测量实验
4.4.3 位置坐标变化的重复测量实验
4.4.4 谐振腔表面差异的重复性试验
4.5 本章小结
5 总结和展望
5.1 工作总结
5.2 展望
致谢
参考文献
