公开/公告号CN208399791U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-01-18
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州莱能士光电科技股份有限公司;
申请/专利号CN201721815824.X
申请日2017-12-22
分类号
代理机构苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙);
代理人马丽丽
地址 215600 江苏省苏州市张家港市锦丰科技创业园B01栋3楼苏州莱能士光电科技股份有限公司
入库时间 2022-08-22 07:53:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-18
授权
授权
机译: 超短波紫外线光学系统-使用反射镜,超短波紫外线光学系统,超短波紫外线光学系统的应用方法,超短波紫外线光学系统的生产方法,超短波紫外线光学曝光方法,系统-短紫外线展
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机译: 变焦光学系统,包含该变焦光学系统的光学仪器以及变焦光学系统的变焦方法