公开/公告号CN208367888U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 广东先凯智能科技有限公司;
申请/专利号CN201820415284.4
申请日2018-03-26
分类号
代理机构中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙);
代理人邹常友
地址 528400 广东省中山市西区沙朗沙港路嘉兴大厦4楼
入库时间 2022-08-22 07:48:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-11
授权
授权
机译: 一种用于检测半导体处理腔室内气体中的气态分子种类的方法,因此配备了半导体处理系统
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