公开/公告号CN108320466A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-24
原文格式PDF
申请/专利权人 广东先凯智能科技有限公司;
申请/专利号CN201810253035.4
申请日2018-03-26
分类号
代理机构中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙);
代理人邹常友
地址 528400 广东省中山市西区沙朗沙港路嘉兴大厦4楼
入库时间 2023-06-19 06:30:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G08B21/14 申请日:20180326
实质审查的生效
2018-07-24
公开
公开
机译: 一种用于检测半导体处理腔室内气体中的气态分子种类的方法,因此配备了半导体处理系统
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