一种微波脉冲共振放电等离子体射流体模加热改性装置

摘要

本实用新型涉及微波脉冲共振放电等离子体射流体膜加热改性技术领域，具体涉及一种微波脉冲共振放电等离子体射流体模加热改性装置，包括脉冲调制器、功率放大器、信号发生器、示波器、十字石英管同轴谐振放电装置、同轴线和定向耦合器，本实用新型由信号发生器发生信号，设置脉冲调制器的脉冲频率值，调整功率放大器保持特定功率输出，使温度可调；另外产生的微波在脉冲共振的作用下产生气体放电，从而形成高速高温射流；可通过十字石英管加入不同的喷涂粉末或反应气体，进入热等离子体射流之后，受到射流的加热和加速，最终撞击到基材表面形成涂层；微波场大体积体模分布激励气体放电，进而触发整个等离子体区内同时体模放电，使加热更均匀。