一种微波脉冲共振放电等离子体射流体模加热改性装置

摘要

本发明涉及微波脉冲共振放电等离子体射流体膜加热改性技术领域，具体涉及一种微波脉冲共振放电等离子体射流体模加热改性装置，包括脉冲调制器、功率放大器、信号发生器、示波器、十字石英管同轴谐振放电装置、同轴线和定向耦合器，本发明由信号发生器发生信号，设置脉冲调制器的脉冲频率值，同时调整功率放大器保持特定功率输出，使温度可调；另外产生的微波在脉冲共振的作用下产生气体放电，从而形成高速高温射流；可通过十字石英管加入不同的喷涂粉末或反应气体，进入热等离子体射流之后，受到射流的加热和加速，最终撞击到基材表面形成涂层；微波场大体积体模分布激励气体放电，进而触发整个等离子体区内同时体模放电，使加热更均匀。