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导电性高分子用蚀刻液、及将导电性高分子图案化的方法

摘要

本发明的目的是提供一种对于导电性高分子具有优越的蚀刻处理能力的导电性高分子用蚀刻液、及使用该导电性高分子用蚀刻液来将导电性高分子予以图案化的方法。本发明的图案化的方法使用如下的蚀刻液,即作为有效氯浓度为0.06重量%以上,并且pH值超过3且低于8的次氯酸盐水溶液的蚀刻液。

著录项

  • 公开/公告号CN103456626B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-06-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东亚合成株式会社;

    申请/专利号CN201310232197.7

  • 发明设计人 井原孝;藤本孝弘;

    申请日2007-09-13

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人蒋亭

  • 地址 日本国东京都

  • 入库时间 2022-08-23 09:41:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-08

    授权

    授权

  • 2014-01-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3213 申请日:20070913

    实质审查的生效

  • 2013-12-18

    公开

    公开

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