一种单晶铜键合线退火后的快速冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶铜键合线退火后的快速冷却装置，包括外壳，所述外壳内部的上方设置有冷却管。本实用新型通过气泵将氮气输送到冷却管的内部对单晶铜键合线进行快速降温，配合第一导气管将使用后的氮气进行回收并输送至冷凝管和压缩机，进而对氮气进行冷却和压缩，从而对氮气进行循环利用，减少生产成本和提高对单晶铜键合线的冷却速度，且避免单晶铜键合线发生氧化而影响生产质量，且该种单晶铜键合线退火后的快速冷却装置通过洗液池过滤掉空气中的氧气，配合过滤仓过滤掉水份和杂质，进而从空气中获取大量氮气，从而减少企业的生产材料的消耗并避免了人工添加冷却材料带来的人员成本的开销。