一种减小电子显微镜观察晶圆缺陷误差的方法

摘要

本发明涉及大规模集成电路制造领域，尤其涉及一种减小电子显微镜观察晶圆缺陷误差的方法，通过该将晶圆参数直接导入到电子显微镜上，以定义芯片的各种信息，然后再将在电子显微镜下定义好的数据传送并保存到一个数据库中，最后，缺陷检测设备创建缺陷检测的程序时到该数据库中调用晶圆上芯片的信息使得采用电子显微镜观察缺陷的误差被大大地减小，进而确保了观察的精确性。