一种耐高温肖特基势垒二极管

摘要

本实用新型公开了一种耐高温肖特基势垒二极管，包括由下至上依次设置的背面金属层、衬底、外延层、金属势垒层和正面金属层，所述金属势垒层和正面金属层间设置有金属缓冲层。本实用新型金属缓冲层相较于蒸发工艺得到的正面金属层具有更高的致密性和覆盖性，能有效抑制金属下表面漏电流，同时由于金属缓冲层的致密度高，缺陷少，也不易形成漏电通道。在高温时，金属缓冲层和势垒金属层以及正面金属层之间的应力减小，影响很小，因此该结构能够在高温时，大大减少反向漏电流，降低了二极管发热情况，提高了二极管的耐高温特性。