硅片翻转机构及应用该翻转机构的硅片翻转装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片翻转机构，所述翻转机构包括依次设置的进料组件、翻转组件和出料组件。其中，所述进料组件用于运送待翻转硅片，所述待翻转硅片的第一表面朝上；所述翻转组件用于将所述进料组件运送的所述待翻转硅片表面翻转，使所述硅片的与所述第一表面相对的第二表面朝上；所述出料组件用于运送完成表面翻转后的硅片。该硅片翻转机构，实现了硅片翻转的自动化，提高了硅片翻转的效率；且结构简单，其进料组件、翻转组件、出料组件分段设置，各组件的运作互不干扰，提高了硅片翻转的稳定性和可靠性，降低了生产成本。本实用新型还公开了一种应用所述硅片翻转机构的硅片翻转装置。