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一种用于生产新材料的智能型基片预处理装置

摘要

本实用新型涉及一种用于生产新材料的智能型基片预处理装置,包括清洗盒、隔离盒、隔离机构、信号盒和推动机构,隔离机构包括隔离板、连接杆和升降组件,升降组件包括第一电机、第一连杆、第二连杆、升降环和固定杆,信号机构包括第二电机、转盘、驱动组件和两个信号组件,信号组件包括滑板、支杆、超声波发射器和两个滑动单元,该用于生产新材料的智能型基片预处理装置通过信号机构使超声波发射器产生的超声波信号作用于清洗盒内的各个位置,实现对基片表面的彻底清洗,不仅如此,通过隔离机构带动隔离板升降,在进行排水时,将杂质排出,使人们去除洁净的基片,进而保证在进行CVD反应时,新材料均匀附着在基片的表面,从而提高了设备的实用性。

著录项

  • 公开/公告号CN208213809U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2018-12-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201820385465.7

  • 发明设计人 冯云;

    申请日2018-03-21

  • 分类号

  • 代理机构深圳市汉唐知识产权代理有限公司;

  • 代理人彭益宏

  • 地址 363005 福建省漳州市龙文区南昌花园10栋602室

  • 入库时间 2022-08-22 07:21:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-12-11

    授权

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