一种医用钛及钛合金表面氧化-镀碳-类金刚石复合膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种医用钛及钛合金表面氧化-镀碳-类金刚石复合膜，所述复合膜是在医用钛及钛合金表面按顺序依次制备有一层氧化层、一层碳/碳化钛镀碳层和一层类金刚石层。本发明还公开上述复合膜的制备方法。本发明制备的复合膜由于基于原位生长具有较大膜基结合力、较大薄膜厚度，薄膜综合性能优异，而且本发明工艺简单、性价比高、可大批量生产。