公开/公告号CN208134428U
专利类型实用新型
公开/公告日2018-11-23
原文格式PDF
申请/专利权人 瑞立集团瑞安汽车零部件有限公司;
申请/专利号CN201820166569.9
申请日2018-01-31
分类号
代理机构北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人孙海波
地址 325200 浙江省温州市瑞安市经济开发区毓蒙路1169号
入库时间 2022-08-22 07:07:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-23
授权
授权
机译: 提纯原油原料气的过程和压力变化,以对加压的原油原料气进行提纯。提纯原油原料气的过程,用于对加压的原始arg气源进行提纯的过程,以及用于精炼原料气的压力变化。加压的原始arg的供应,以及加压的原始arg的提纯的系统
机译: 用于将汽化的液态相源稳定地供应到反应室中的源气供应设备,包括该设备的CVD系统,使用该设备控制源气体流率的方法以及使用该系统的薄膜形成方法
机译: 源气供应装置成膜装置和源气供应方法