带电粒子束扩散装置和X射线发射装置

摘要

本实用新型公开了一种带电粒子束扩散装置和一种X射线发射装置。带电粒子束扩散装置，包括第一四极透镜和第二四极透镜，第一四极透镜位于上游；其中，第一四极透镜和第二四极透镜布置成，使得第一四极透镜在第一方向对入射的带电粒子束聚集并且在第二方向对入射的带电粒子束发散，第二四极透镜配置成在第一方向上对入射的带电粒子束发散并且在第二方向上对入射的带电粒子束聚集；其中第一方向和第二方向相互垂直。