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戴宏毅; 肖亚斌; 王同权; 张树发;
国防科技大学理学院,;
带电粒子束; 传输; 真空; 扩散; 自生场;
机译:带电通道的带电粒子束的传输和聚焦
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机译:带电粒子束曝光时的面膜花纹检测方法及带电粒子束曝光时的装置
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