一种基于二级对称式柔性铰链放大机构的压电叠堆微泵

摘要

本实用新型公开了一种基于二级对称式柔性铰链放大机构的压电叠堆微泵，包括单向出口阀、单向入口阀、阀盖、泵腔、缓冲腔道、弹性球、密封圈、振动薄膜、上平板、放大机构、压电叠堆、压电叠堆电极、支架和下平板；本实用新型将振动薄膜正下方的上平板加工出缓冲腔道，并在缓冲腔道内置若干橡胶质地的弹性球，使得振动薄膜振动使泵腔容积压缩时可承受更大压力进一步扩大容积，增大时具备更大的缓冲驱动力，减少泵腔体容积大变化量时所需的较大驱动电压的负担；又由于微位移放大机构采用二级对称式柔性铰链机构，因此具有放大机构功率较高，消除纵向耦合误差的优点。