一种数控机床用大范围超精密定位工件台

摘要

一种数控机床用大范围超精密定位工件台，包括宏动平台以及安装在宏动平台上用于补偿行程的微动平台；宏动平台由两个直线电机驱动一维平台正交组合而成，直线电机驱动一维平台均包括直线导轨以及能够在导轨上移动的电机动子，电机动子由伺服运动控制器驱动；微动平台包括微动平台固定台以及通过柔性铰链与之连接的微动平台移动台，所述柔性铰链的动作由压电陶瓷驱动器控制；所述的伺服运动控制器与压电陶瓷驱动器连接位于控制端的计算机。本实用新型采用宏微两级平台伺服驱动，能够实现大范围、高速、精密定位运动。