一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，涉及气相沉积技术领域。该新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，包括外壳，所述外壳的左侧贯穿设置有抽气管，所述外壳内腔的顶部固定连接有磁控溅射靶，所述外壳的右侧固定连接有电机箱，所述电机箱的内腔固定连接有梳砂驱动电机，所述梳砂驱动电机的输出轴通过联轴器固定连接有梳砂转轴，所述梳砂转轴的左端贯穿外壳并延伸至外壳的外部。该新型粉体材料表面膜层物理气相沉积设备，通过梳砂器的改良，以及梳砂驱动电机、梳砂转轴、转盘驱动电机和转盘转轴的配合使用，加强了物理气相沉积设备的工作效率，避免了由于粉体材料翻动效果不佳而导致的气相沉积用时过长。