一种大负载真空机械手用多轴传动磁流体密封装置

摘要

本实用新型公开了一种大负载真空机械手用多轴传动磁流体密封装置，包括端面静密封法兰、外壳体、内壳体、传动轴，外壳体与端面静密封法兰通过螺栓连接，外壳体与内壳体之间设置有外磁密封机构，内壳体与传动轴之间设置有内磁密封机构，内壳体与外磁密封机构之间通过导磁套连接。本实用新型传动轴和两个内深沟球轴承，内壳体和两个外深沟球轴承分别构成了两个稳定的传动系统，使得传动轴和内壳体的轴端圆跳动控制在0.1mm范围内；内外磁密封机构的设置，使得磁流体密封部位的磁饱和强度、耐压差性能都稳定可靠。