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升华炉温分段过渡结构的管式炉

摘要

一种升华炉温分段过渡结构的管式炉,其包括电热炉箱以及还原管,所述还原管径向固定、轴向可的插设在电热炉箱中,且所述还原管的两端伸出于所述电热炉箱的两端,所述还原管的两端分别为进气端以及排气端,所述进气端及排气端分别可拆卸的密封盖设有进气端盖及出气端盖,所述进气端盖及出气盖上分别连接有进气管及出气管;所述电热炉箱包括箱壳,所述箱壳中对应所述还原管上的进气端至出气端之间轴向依次设置有相互隔断的升华加热段、还原加热段以及结晶加热段。

著录项

  • 公开/公告号CN207662201U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2018-07-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江西海宸光电科技有限公司;

    申请/专利号CN201721454641.X

  • 发明设计人 罗亮;周斌;

    申请日2017-11-03

  • 分类号

  • 代理机构南昌汇智合诚知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人胡长民

  • 地址 338000 江西省新余市高新技术产业开发区

  • 入库时间 2022-08-22 05:49:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-27

    授权

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