一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统

摘要

本实用新型提出的一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统，属于微波等离子体源、微波材料处理技术领域，包括设有非金属微波放电管的微波谐振等离子体炬发生装置和由介质阻挡放电(DBD)射流电源、非金属预电离射流管、预电离气体存放瓶、气流和水冷设备及工作气体存放瓶构成的DBD预电离系统；气流和水冷设备的气流接口一端与微波放电管上端连通、另一端与工作气体存放瓶连接；预电离射流管下部位于非金属预电离射流管内，且中部缠绕有与DBD射流电源连接的铜箔层；预电离射流管上端与预电离气体存放瓶连接。本系统能保证微波在腔体中顺利激发微波等离子体，解决了一般微波波导谐振腔内等离子体在大气压下难于激发的问题。