一种MEMS振镜同步信号反馈装置及激光雷达

摘要

本实用新型提供了一种MEMS振镜同步信号反馈装置及激光雷达，激光发射单元发射激光并经过光束整形单元进行光束整形后，入射到由MEMS驱动单元驱动的MEMS发射单元谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；光电探测器用于在检测到MEMS发射单元处于最大偏转角度时向信号控制与处理单元反馈电信号，以使信号控制与处理单元根据所述电信号对所述激光驱动单元进行控制，实现MEMS发射单元和激光发射单元的同步。本实用新型提供的MEMS振镜同步信号反馈装置引入反馈信号用于控制激光发射单元发光实现同步并形成闭环控制，装置整体具有灵活稳定性，可实现均匀或非均匀多线扫描。并相比目前常用的机械旋转激光雷达装置技术，具有尺寸小、结构简单，易集成等特点。