ICP分析装置及其分析方法

摘要

本发明涉及一种ICP分析装置及其分析方法，活用能进行高灵敏度测定但装置的劣化快的等离子体的发生轴方向测定和装置劣化少但灵敏度低的等离子体的横向测定中各测定的特征而能够进行高灵敏度且减轻了装置的劣化的倾斜方向测定。构成为：为了将所述等离子体喷灯设定为任意角度，以直线状对置地配置等离子体喷灯和聚光部时为基准，使至少一个相对于ICP分析装置中的聚光部的等离子体的光的取进方向转动，从而以任意角度对置。