一种干气密封的二级密封隔离的供气系统

摘要

本实用新型提供了一种干气密封的二级密封隔离的供气系统，其特征在于包括气源、加热装置、增压装置、第一支路、过滤装置、隔离输出管路、二级密封管路、二级密封装置和隔离密封装置，采用加热装置和增压装置来保证所供气体的压力，避免供气压力对密封系统造成影响，通过各级减压装置、调压单元和流量调节单元，精确控制各级各部件不同负载下不同的压力需求，使干气密封的二级密封装置和隔离密封装置处于最佳的工作状态，延长了干气密封的使用寿命，避免由于干气密封失效造成的工艺气体的泄露，保证了整个设备的正常运行。